Sensor de pressió del motor 2CP3-68 1946725 per a l'excavadora Carter

Un mètode per preparar un sensor de pressió, caracteritzat per incloure els passos següents:

S1, proporcionant una hòstia amb una superfície posterior i una superfície frontal;Formant una tira piezoresistiva i una zona de contacte fortament dopada a la superfície frontal de l'hòstia;Formant una cavitat profunda de pressió gravant la superfície posterior de l'hòstia;

S2, unint un full de suport a la part posterior de l'hòstia;

S3, fabricant forats de plom i cables metàl·lics a la part frontal de l'hòstia i connectant tires piezoresistives per formar un pont de Wheatstone;

S4, dipositant i formant una capa de passivació a la superfície frontal de l'hòstia i obrir part de la capa de passivació per formar una zona de coixinet metàl·lic.2. Mètode de fabricació del sensor de pressió segons la reivindicació 1, on S1 comprèn específicament els passos següents: S11: proporcionar una hòstia amb una superfície posterior i una superfície frontal, i definir el gruix d'una pel·lícula sensible a la pressió sobre l'hòstia;S12: la implantació d'ions s'utilitza a la superfície frontal de l'hòstia, les tires piezoresistives es fabriquen mitjançant un procés de difusió a alta temperatura i les regions de contacte estan fortament dopades;S13: dipositar i formar una capa protectora a la superfície frontal de l'hòstia;S14: gravat i formació d'una cavitat profunda de pressió a la part posterior de l'hòstia per formar una pel·lícula sensible a la pressió.3. Mètode de fabricació del sensor de pressió segons la reivindicació 1, on l'hòstia és SOI.

El 1962, Tufte et al.va fabricar per primera vegada un sensor de pressió piezoresistiu amb tires piezoresistives de silici difús i estructura de pel·lícula de silici i va començar la investigació sobre el sensor de pressió piezoresistiu.A finals de la dècada de 1960 i principis de la dècada de 1970, l'aparició de tres tecnologies, és a dir, la tecnologia de gravat anisotròpic de silici, la tecnologia d'implantació d'ions i la tecnologia d'enllaç anòdic, va aportar grans canvis al sensor de pressió, que va tenir un paper important en la millora del rendiment del sensor de pressió. .Des de la dècada de 1980, amb el desenvolupament de la tecnologia de micromecanitzat, com ara el gravat anisotròpic, la litografia, el dopatge de difusió, la implantació d'ions, l'enllaç i el recobriment, la mida del sensor de pressió s'ha reduït contínuament, la sensibilitat s'ha millorat i la sortida és alta i alta. el rendiment és excel·lent.Al mateix temps, el desenvolupament i l'aplicació de la nova tecnologia de micromecanitzat fan que el gruix de la pel·lícula del sensor de pressió es controli amb precisió.