Aplicable al sensor de pressió de rampa comuna de combustible Passat 06E906051K

1. Un mètode per formar un sensor de pressió, que inclou:

Proporcionar un substrat semiconductor, on una primera capa dielèctrica intercapa, una primera capa dielèctrica intercapa i una segona capa dielèctrica intercapa es formen al substrat semiconductor.

Una placa d'elèctrode inferior a la primera capa dielèctrica entre capes, un primer elèctrode mutu situat a la mateixa capa que la placa de l'elèctrode inferior i separat.

Capes de connexió;

Formant una capa de sacrifici per sobre de la placa polar inferior;

Formant una placa d'elèctrode superior a la primera capa dielèctrica intercapa, la primera capa d'interconnexió i la capa sacrificial;

Després de formar la capa de sacrifici i abans de formar la placa superior, a la primera capa d'interconnexió

Formant una ranura de connexió i omplint la ranura de connexió amb la placa superior per connectar elèctricament amb la primera capa d'interconnexió; O,

Després de formar la placa d'elèctrode superior, es formen ranures de connexió a la placa d'elèctrode superior i la primera capa d'interconnexió, que

Formant una capa conductora que connecta la placa d'elèctrode superior i la primera capa d'interconnexió a la ranura de connexió;

Després de connectar elèctricament la placa superior i la primera capa d'interconnexió, s'elimina la capa de sacrifici per formar una cavitat.

2. Mètode per formar un sensor de pressió segons la reivindicació 1, on la primera capa

El mètode per formar la capa de sacrifici a la capa dielèctrica intercapa consta dels passos següents:

Dipositar una capa de material sacrificial a la primera capa dielèctrica intercapa;

Modelar la capa de material de sacrifici per formar una capa de sacrifici.

3. Mètode per formar el sensor de pressió segons la reivindicació 2, on s'utilitzen fotolitografia i gravat.

La capa de material de sacrifici està modelada per procés de gravat.

4. Mètode per formar un sensor de pressió segons la reivindicació 3, on la capa sacrificial

El material és carboni amorf o germani.

5. Mètode per formar un sensor de pressió segons la reivindicació 4, on la capa de sacrifici

El material és carboni amorf;

Els gasos de gravat utilitzats en el procés de gravat de la capa de material de sacrifici inclouen O2, CO, N2 i Ar;

Els paràmetres en el procés de gravat de la capa de material sacrificial són: el rang de flux d'O2 és de 18 SCCM ~ 22 SCCM i el cabal de CO és del 10%.

El cabal oscil·la entre 90 SCCM i 110 SCCM, el cabal de N2 oscil·la entre 90 SCCM i 110 SCCM i el cabal d'Ar.

El rang és de 90 SCCM ~ 110 SCCM, el rang de pressió és de 90 mtor ~ 110 mtor i la potència de polarització és

540w~660w.