Aplicable a Passat Combusat Sensor de pressió ferroviària comuna 06E906051K

1. Un mètode per formar un sensor de pressió, que inclou:

Proporcionant un substrat semiconductor, en què es formen una primera capa dielèctrica interlayer, una primera capa dielèctrica interlayer i una segona capa dielèctrica interlayer al substrat de semiconductor.

Una placa d'elèctrodes inferior a la primera capa dielèctrica interlayer, un primer elèctrode mutu situat a la mateixa capa que la placa d'elèctrodes inferior i separat.

Capes de connexió;

Formant una capa sacrificial per sobre de la placa polar inferior;

Formant una placa d’elèctrodes superior a la primera capa dielèctrica interlayer, la primera capa d’interconnexió i la capa sacrificial;

Després de formar la capa sacrificial i abans de formar la placa superior, a la primera capa d’interconnexió

Formant una ranura de connexió i omplint la ranura de la connexió amb la placa superior per connectar -se elèctricament amb la primera capa d'interconnexió; O

Després de formar la placa d'elèctrodes superior, es formen solcs de connexió a la placa d'elèctrode superior i a la primera capa d'interconnexió, que

Formant una capa conductora que connecta la placa d'elèctrode superior i la primera capa d'interconnexió a la ranura de la connexió;

Després de connectar elèctricament la placa superior i la primera capa d’interconnexió, traient la capa sacrificial per formar una cavitat.

2. El mètode per formar un sensor de pressió segons la reivindicació 1, en què a la primera capa

El mètode per formar la capa sacrificial a la capa dielèctrica entre funda inclou els passos següents:

Dipositar una capa de material sacrificial a la primera capa dielèctrica interlayer;

Passant la capa de material sacrificial per formar una capa de sacrifici.

3. El mètode per formar el sensor de pressió segons la reivindicació 2, en què s’utilitza fotolitografia i gravat.

La capa de material sacrificial està modelada pel procés de gravat.

4. El mètode per formar un sensor de pressió segons la reivindicació 3, en què la capa sacrificada

El material és carboni amorf o germani.

5. El mètode per formar un sensor de pressió segons la reivindicació 4, en què la capa sacrificada

El material és carboni amorf;

Els gasos de gravat utilitzats en el procés de gravat de la capa de material sacrificial inclouen O2, CO, N2 i AR;

Els paràmetres en el procés de gravat de la capa de material sacrificial són: el rang de flux d’O2 és de 18 SCCM ~ 22 SCCM i el cabal de CO és del 10%.

El cabal oscil·la entre 90 SCCM a 110 SCCM, el cabal de N2 oscil·la entre 90 SCCM a 110 SCCM i el cabal de la AR.

El rang és de 90 sccm ~ 110 sccm, el rang de pressió és de 90 mTOR ~ 110 mTOR, i la potència de biaix és

540W ～ 660W。